光學(xué)薄膜測量儀的原理： 當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號。經(jīng)放大與相敏整流后，可將位移信號從調(diào)幅信號中解調(diào)出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。
根據(jù)使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。
光學(xué)薄膜測量儀的主要特點：
真空壓差法測試原理；
三腔獨立測試；
三腔循環(huán)介質(zhì)控溫，各自獨立溫度傳感器實時監(jiān)控；
智能模式，試驗過程全自動，一鍵式操作；
真空泵自動啟停，無需人工開關(guān)；
氣體透過率、擴散系數(shù)、溶解度系數(shù)、滲透系數(shù)測試；
多種試驗?zāi)Ｊ娇蛇x擇，可滿足各種標(biāo)準(zhǔn)、非標(biāo)試驗；
數(shù)據(jù)審計追蹤、溯源；系統(tǒng)日志記錄；
5級用戶權(quán)限管理；
溫度曲線、濕度曲線、壓差曲線、曲線獨立顯示、曲線疊加；
可支持DSM實驗室數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，能實現(xiàn)生產(chǎn)監(jiān)控、數(shù)據(jù)統(tǒng)一管理。
光學(xué)薄膜測量儀由測繪主機、測繪平臺、Y型光纖及上位機軟件搭建而成，核心器件采用高分辨率、高靈敏度光譜儀結(jié)合*的算法技術(shù)，為用戶提供的自動光學(xué)薄膜厚度測量儀。
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